帶位置編碼器的納米機(jī)械手-MM3E

德國Kleindiek公司的MM3E 以經(jīng)典的，廣泛使用的 MM3A-EM 微納米操縱儀韋基礎(chǔ)，具有與 MM3A 相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性，并結(jié)合了閉環(huán)位置反饋功能（closed-loop positional feedback）。這一改進(jìn)為提高系統(tǒng)的易用性提供了手段（例如，通過定義停止位置parking position和工作位置working position，一鍵點(diǎn)擊，使機(jī)械手前端的探針到達(dá)目標(biāo)位置，大大提高了工作效率）。

MM3E 與市場上幾乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配備了一個(gè)直觀的拖放式（drag&drop-style）控制軟件，可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 內(nèi)對探針進(jìn)行三維定位。

軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換，使 MM3E 以笛卡爾坐標(biāo)系運(yùn)動(dòng)，其重現(xiàn)性僅為幾微米。通過選配編碼的軸向旋轉(zhuǎn)單元，試樣可以在靠近試樣的位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)（compucentrically）。 

應(yīng)用領(lǐng)域：

TEM 原位提取（In-situ lift-out）

納米探測（Electrical probing）

納米操縱（Nanomanipulation）

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm